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PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…
『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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PRMHS-300Sでは対応できなかった第二世代までのマザーガラスに対応の…
研究・開発向けの半自動ガラススクライバーです。 スクライブパターンの登録が4種類まで可能です。 自動運転の場合、処理が完了すると、ブザー鳴動してお知らせします。 カッターは、切込み量と圧力の2つの調節が行えます。 一連の処理が完了すると自動で真空破壊されるので、段取り替えが容易です。 安全仕様として、安全カバー、インターロック、非常停止、吸着センサーが 標準で装備されています。 .....
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イーエッチシー
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高速開閉・高い応答安定性!特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…
(※Cv値 初期値誤差、使用時変動率 ±5%以内) ■当社独自技術により220℃高温流体で耐久性4,000万回以上 ■耐久試験実績値1億回以上達成 (※当社試験実績(試験条件)流体:N2 封入圧:0.25MPa(G)接ガス部温度: 220℃) ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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Max180℃まで任意の温度に設定可能!メンテナンス期間を大幅に延長で…
【主な仕様(一部)】 ■サイズ:12"(300mm タイプ) ■使用圧力:1x10^-6Pa~0.101MPa(abs) ■弁座耐差圧:0.101MPa(正逆圧) ■ベローズ耐圧:0.02MPa(G) ■弁開閉許容差圧:1.3KPa ※詳しくはPDF資料を...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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優れた内部シール性!低圧から高圧まで使用可能なポペット摺動タイプの逆止…
『IC』シリーズは、ポペット摺動タイプのチェックバルブです。 精密嵌合仕上げにより、スムーズな開閉動作を有しており、特別に デザインされたエラストマーにより、低圧から高圧までシール可能。 コンパクト設計によりガス溜りも極小に押さえた設計に仕上がっています。 【特長】 ■材質はSUS316L材を使用し、耐食性を向上 ■構成部品はシンプルな構造 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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自動弁はインジゲータ(開閉表示)を標準装備! 手動弁はLOTO(鍵)機…
【主な仕様(一部)】 ■流体温度(℃):20℃~200℃ ■周囲温度(℃):20℃~80℃ ■耐圧(MPa):0.5MPa ■使用圧力範囲(MPa) ・正圧:0~0.2MPa(G) ・逆圧:0~0.1MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフ…
【主な仕様(一部)】 ■サイズ:25A、50A、80A、100A ■オリフィス(mm):φ33、φ51.3、φ78、φ100 ■弁座耐差圧:0.101MPa(正逆圧) ■使用流体温度範囲:-15~100℃ ■作動耐久回数:大気状態で10万回実績 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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クリーンで使いやすいWET系バルブ!特殊機能付きや200℃対応高温樹脂…
『FCDNシリーズ』は、クリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 超高純度流体に対応したフッ素樹脂製の「手動弁・自動弁手動」をはじめ、 全開流量を任意に設定できる「流量調整付自動弁」や「バイパス付自動弁」 な...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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バイパス弁開度の調整で節水も可能!バルブ閉時にも流体の滞留を防ぎます
「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 『バイパス付自動弁』は、バルブ閉時にもバイパス流路により 流体の滞留を防ぎ、バイパス弁開度の調整で節水も可能。 バルブサイズは1/4"、3...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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WET系バルブ『FCDNシリーズ 流量調整+バイパス付自動弁』
流量設定、エア駆動開閉、バイパス流路の確保など1台3役の複合弁!
WET系樹脂バルブ「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 『流量調整+バイパス付自動弁』は、流量設定、エア駆動開閉、 バイパス流路の確保など1台3役の複合弁です。 バルブサイズは1/4"、3/8"...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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全開流量を任意に設定可能!クリーンで使いやすい自動弁のご紹介
「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 『流量調整付自動弁』は、全開流量を任意に設定可能。 バルブサイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"をご用意しており、 流体温度...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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