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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化(No.2220)
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書籍名:先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 --------------------- ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか! 新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 --------------------- ■ 本書のポイント 1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社技術情報協会
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弊社において成膜した製品はもとよりお客様お手持ちの製品の測定、評価も請…
分光測定、光学濃度測定、膜厚測定、形状測定、欠陥観察等の測定を実施可能です。 自社で成膜した製品対しては合否確認の目的をもった測定データを製品に添付しお届け致します。 お客様がお手持ちの製品についても測定のご依頼は可能です。 測定の他、製品の耐久性能も各種環境試験機を用いて評価をさ...
メーカー・取り扱い企業: 京浜光膜工業株式会社
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株式会社栗田製作所 本社・京都事業部