スポットエアコン『クールショット』／HITACHI

特定の場所・人にクールゾーンをお届け！省エネや環境に配慮した日立のスポ…

省エネや環境に配慮した日立のスポットエアコン『クールショット』。 軽量ボディのスリム床置型は、作業スペースを広く使うことができ、工場や作業場に最適です！ ＜特長＞ ■排気ダクト標準装備 排気の熱を本体周辺から逃すため、スポット冷房効果が向上！ ■省スペース 正面を除く三面が「壁ピタ設置」できて省スペース！ ■排水作業が簡単なコンパクトドレンタンク コンパクトなド...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

自動検査装置『BMWシリーズ』

歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置

『BMWシリーズ』は、デバイス製造プロセスにおいてウェーハ裏面に発生する 微小凹凸欠陥を高感度・高速に検出し、露光・CMP等の後続プロセスでの 歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置です。 また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補欠陥に対して、 レーザー顕微鏡による三次元自動測定を行い欠陥P-V値等の詳細データを ユーザーに提供、プロセスの安...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/