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【電源配線不要!】VESSEL社製のコンプレッサーエアーだけで除電・除…
●外部からの電力供給が不要 エアータービンでモーターを回転させてイオン生成のための電力を発電。 ACアダプターや高圧配線の必要がなく、エアーホースの配管だけですぐに使用できます。 ●構造 供給されたエアーを発電用と除塵用にいったん分岐し、モーターが適切な回転力を得て発電した後に、再度合流して、ガン先端から吹き出します。 エアー圧が高くなると特殊バルブが開き、主なエアーはそのまま吹き出し、...
メーカー・取り扱い企業: 山和機工株式会社
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歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置
『BMWシリーズ』は、デバイス製造プロセスにおいてウェーハ裏面に発生する 微小凹凸欠陥を高感度・高速に検出し、露光・CMP等の後続プロセスでの 歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置です。 また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補欠陥に対して、 レーザー顕微鏡による三次元自動測定を行い欠陥P-V値等の詳細データを ユーザーに提供、プロセスの安...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/
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