組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

高性能・高圧 多用途ポンプ 【プラステコ】 L.TEXシリーズ

PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…

用途によって選べるタイプ！！ ●ポンプ単体（装置組込式）　●制御部一体型 標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ－ポンプです。 当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。 最大流量は 10mL/min ～ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、 研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラステコ 本社

APR版超音波洗浄装置

ARR版（ポリブタジエン版）超音波洗浄装置

多数のＡＰＲ版超音波洗浄装置を納入してきたが　ブルー・スターＲ＆Ｄは、従来の技術を　さらに発展させ、新しい・低コスト・精密洗浄システムを　提案します。なお　APR版のNMP→水と言う流れの洗浄技術は　昨今多く使われていますが、当社技術顧問のshibanoが　APR版製造メーカの元K専務の協力により　業界で初めて、開発に成功した洗浄技術です。 　現在、キャビティーション強化システム付きの５０KHｚ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブルー・スターＲ＆Ｄ 本社