呼吸フィルタ『アドソーベント　ブリーザーフィルタ（ABF)』

粉塵や粒子(パーティクル)の除去、ガス吸着、結露・腐食防止に優れた呼吸…

です。 流入空気から粒子(パーティクル）を取り除く、吸着剤要素のある高性能ろ過膜のABFには、湿気および酸性ガスを吸着し、炭化水素などの制御目的仕様の特殊吸着剤が使用されています。 ・活性炭：相対湿度制御と炭化水素の吸着 ・化学処理活性炭：相対湿度制御と酸性ガスと炭化水素の吸着 ・シリカゲル：相対湿度コントロール...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社

ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」

さまざまな汚染物質からウエハーやレンズを保護し、寿命を最大限にするフィ…

す。 【特長】 ■さまざまな汚染物質の除去に使用可能 ・酸性ガス（SO2、HCl、HBr） ・塩基性ガス（NH3、NMP、アミン） ・凝縮性有機ガス（HMDSO、TMS） ■従来の活性炭フィルタと比較して、同等サイズでありながら吸着容量アップを実現 ■Refill プログラムにより、フィルタの再利用が可能 ■グローバルな販売・サービス体制が整っている 詳しくはお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社