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PR空気圧駆動 アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁
当社の『アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁AS260シリーズ』のご紹介です。 ある程度大きな流量を比較的ゆっくりとした応答で圧力制御を行うことに適した とても使い勝手の良いお勧めの新製品です。 精密な遠隔操作が可能な他、ブースタと組み合わせて精密大流量弁とすることもできます。 ■特徴 ・ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁、圧力センサ、アンプ(制御基板)を一体化した圧力制御弁 ・電気信号に比例してパ...
メーカー・取り扱い企業: ピー・エス・シー株式会社
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PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…
『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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最大2.0MPa対応!独自の冷却構造によりベアリング温度を低減した製品…
/0.5」など取り扱っています。 【仕様(一部)】 ■最高回転数:120000min-1 ■胴径:100mm ■定格電圧:180V ■エアパージ配管:1(0.10MPa) ■空気消費流量:180L/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ミクロン精密株式会社
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高い精度と剛性で、高速回転に対応!軸たわみとセラミックス球への負荷を軽…
【その他の仕様】 ■潤滑油:ISO VG 32 ■エアパージ配管:1本(0.2MPa) ■空気消費流量:110L/min ■スピンドル冷却液:ISO VG 2 ■質量:5.0kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ミクロン精密株式会社
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大浩研熱株式会社