自動検査装置『BMWシリーズ』

歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置

『BMWシリーズ』は、デバイス製造プロセスにおいてウェーハ裏面に発生する 微小凹凸欠陥を高感度・高速に検出し、露光・CMP等の後続プロセスでの 歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置です。 また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補欠陥に対して、 レーザー顕微鏡による三次元自動測定を行い欠陥P-V値等の詳細データを ユーザーに提供、プロセスの安...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/

超音波式ガス濃度計　US-II T-P

ガス濃度測定ならお任せ下さい！ 原理的にあらゆる２種混合ガスの濃度測…

US-II T-P は検出器に超音波素子を使用したガス濃度計です。２種混合ガス中の音速、温度を測定して濃度表示、出力します。超音波式ガス濃度計は、原理的にあらゆる2種混合ガスの濃度測定が可能です。消耗部品が少なく長寿命であり、メンテナンスが長期間不要です。また、暖機時間をカットしたスピーディーな始動で、連続測定も可能です。酸素、窒素、水素、ヘリウム、二酸化炭素、一酸化炭素、アルゴン、キセノン、クリ...

メーカー・取り扱い企業： 第一熱研株式会社