自動検査装置『BMWシリーズ』

歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置

『BMWシリーズ』は、デバイス製造プロセスにおいてウェーハ裏面に発生する 微小凹凸欠陥を高感度・高速に検出し、露光・CMP等の後続プロセスでの 歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置です。 また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補欠陥に対して、 レーザー顕微鏡による三次元自動測定を行い欠陥P-V値等の詳細データを ユーザーに提供、プロセスの安...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/

世界初スピニング型スクロールブロワのプロトタイプ開発

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圧力相殺型のため、スラスト、ラジアル荷重がべアリングにかからない。スクロールの特長である高効率はそのままに、両軸支持で、完全バランス形状のため、高速化が可能。またほとんどアルミ素材のため、極めて小型、軽量化となっている。 今回開発したのは0.75ｋWのプロトタイプ製品で、順次大型化を検討中。 当社は研究開発型の企業で、大手よりスクロール流体機械の開発委託を受け要求仕様に合ったプロトタイプの製品...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社スクロール技研