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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ(ルーツ真空ポンプ)です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社宇野澤組鐵工所
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サンユー電子 真空応用機器/電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ
スパッタ装置、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器のサンユー電子
1976年の創業以来一貫して、“使いやすい、簡単、便利”にこだわったものづくりを通じ、多くの方々に、スパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器をお使いいただいております。 SEM用前処理用としてのスパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、各種デバイスの電極付け用途としてのスパッタ装置、真空蒸着...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」
ターゲットは3種類同時に装着可能!多層膜を作製することが可能です。
に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 【特長】 ○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付けられる構造 ○抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能 →排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続 詳しくはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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ドラムレスのフラットWeb搬送と処理表面の成膜前非接触搬送を実現!成膜…
スチックフィルム・金属フィルム等に連続的に 表面処理をする装置です。 ドラムレスのフラットWeb搬送と処理表面の成膜前非接触搬送を可能にし、 成膜は、プラズマCDV法、スパッタリング法、真空蒸着法等のプロセス を組み合わせたマルチプロセスが可能です。 また、素材ロールの脱ガス対策にTMP+CRT排気システムの採用しました。 【特長】 ■ドラムレスのフラットWeb搬送が可能...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社C&Vテクニクス
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小型成膜装置!ターゲットは3種類同時に装着可能です。
能 ○真空中にターゲットを選択でき、多層膜を作製可能 ○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付可能 ○排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続 →抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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