従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

蒸着材料／蒸着関連部品

高品質材料を用いたハースライナー、ボート、電子銃用フィラメント等、様々…

USTRON（アストロン）は、2002年から中国の自社工場にて、真空蒸着に 使用される各種高純度蒸着材料を製造・販売しております。 酸化物、フッ化物、硫化物及び純金属など、多種多様な真空蒸着材料を 提供しており、ハースライナーに応じた形状・サイズの薄膜材料で...

メーカー・取り扱い企業： USTRON株式会社

「特殊加工」真空熱プレス加工

真空条件下で加熱・加圧することにより、常温常圧では難しい、気泡レスの貼…

真空状態で圧力をかけ、貼り合わせ加工ができる真空熱プレス機を 導入し、製品加工を行っております。 真空状態での加工は、蒸着等の表面処理や ガラス・シリコン（Si）ウエハーの接合等 様々な製品の加工に用いられております。 ほとんど空気が存在しないため、大気条件下では できない特殊加工を行うことができます。 ■接着剤や粘着テープを用いた貼り合わせでのアウトガス ■ロール式ラミネ...

メーカー・取り扱い企業： オーティス株式会社

半導体製造用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス

シリコン半導体・SiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高…

パイロリティックボロンナイトライド（PBN）やタンタルカーバイドは高い耐熱性や耐腐食性を有し、 急速昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。 PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。 超高温ヒータや高温静電チャック、グラファイト保護コーティングもございます。 PBN機能部品は有機ELの製造プロセス、半導体単結晶成長プロセス、 その他の高温真空プロセスなどの改善に貢献します。 ...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

ロータリーベーン真空ポンプ市場調査報告

ロータリーベーン式真空ポンプ市場は、予測期間中（2023年～2033年…

真空ポンプは、様々なエンドユーザーから大きな需要があります。なぜなら、これらの業種は、常にいくつかの厳しい環境にさらされているため、腐食の影響を非常に受けやすいからです。このため、真空ポンプはさまざまな業界の規制に適合する必要があります。ロータリーベーン真空ポンプは、ハウジング、偏心して設置されたローター、バネの力で半径方向に動くベーン、入口と出口からなるシステムを持つ油密封式の回転式置換ポンプで...

メーカー・取り扱い企業： SDKI Inc.

アル株式会社　会社案内

グロバールなネットワークでお客様をサポート！ALUがお届けします

レンドリーな カスタマーサポート・サービスを提供し続けて参りたいと考えております。 【事業内容】 ■各種ウェーハープロセス装置用部品・材料の設計・製造・輸入・販売 ■スパッタリング・真空蒸着装置の輸入・販売(米国CHA社) ■高純度水素精製装置(ジョンソンマッセイ社)の輸入・販売 ■サファイア基板・部品の輸入 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業： アル株式会社 本社

【仕様書】溶融石英『FLH321』

熱的性質や光学的性質、化学的性質などの諸特性と不純物（参考値）を掲載！

【石英製品　特長】 ■半導体及び太陽光発電用石英ボート、洗浄槽、炉芯管、石英フランジ等に使われる ■真空蒸着用石英ターゲット材 ■光ファイバー用各種棒材、理化学容器、カバーや電子工学工業用大規格・ 　高精度平面石英基板、装置用覗き窓、プリズムなどに好適 ■お客様の要望に沿った各種特殊な加工にも対応...

メーカー・取り扱い企業： USTRON株式会社

合成石英『AQZ』

超精密性と高い安定性を要求される光学部品材料として好適！硝材の材料寸法…

【石英製品　特長】 ■半導体及び太陽光発電用石英ボート、洗浄槽、炉芯管、石英フランジ等に使われる ■真空蒸着用石英ターゲット材 ■光ファイバー用各種棒材、理化学容器、カバーや電子工学工業用大規格・ 　高精度平面石英基板、装置用覗き窓、プリズムなどに好適 ■お客様の要望に沿った各種特殊な加工にも対応...

メーカー・取り扱い企業： USTRON株式会社

【回路基板製造事例】薄膜回路基板

幅広い加工バリエーションに対応可能！ご支給基材への加工や、一部プロセス…

スパッタリング及び蒸着による真空成膜とフォトエッチングを 組み合わせて加工を行う薄膜回路基板の製造事例です。 レーザー、ダイシングによる穴あけや外形カット、 薄膜抵抗形成など、幅広い加工バリエーションに対応可能で、 設計自由度の高い高品質な薄膜回路基板をご提供致します。 ご支給基材への加工や、一部プロセスのみへの対応もできます。 【事例概要】 ■材質：アルミナ、窒化アルミ...

メーカー・取り扱い企業： 東洋精密工業株式会社