小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ　マルチジェトコンデンサ(MJシリーズ)

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

マルチジェットコンデンサは、凝縮も兼ね備えた水エジェクタです。 【製品の特長】 ○排気ポンプとコンデンサの両方の役目を兼ねているので、凝縮性気体の排気に、水エジェクタよりもさらに効果的です。 ○吸入側に逆止弁がついているので、大気脚が不要で停電や断水時の逆流が防止できます ○水エジェクタの特長も全て備えています ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポン…

IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたしま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ポンプ対応ユニット　SCPM-EV/SCTM-EV

外部からの真空エア供給に対応し真空切替バルブとして使用可能なユニット！…

小型・軽量の真空ポンプ対応ユニットです。真空ポンプやマルチステージエジェクタなど、外部真空発生器から供給された真空エアを切替える真空切替バルブとして使用できます。 エアの切替や真空破壊機能によるサイクルタイムの短...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

全体の運用コストを最大50%削減するドライ真空ポンプ

『FOOMA JAPAN 2023』で実機展示！高効率のドライ真空ポン…

MINK MV シリーズは、世界の製造現場で実績を積む、高効率なドライ真空ポンプです。 動作原理は非接触式のため摩耗がありません。従って効率が高く、消費電力が抑えられています。また、プロセスガスの圧縮に潤滑油や封液などが不要なことからもコストが抑えられます。 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

真空エジェクター： EJ-SLG-MEDIUM

【軽量・大真空流量】真空エジェクター / EJ-SLGシリーズ EJ-…

• 非集中型用途に理想的 • いくつかの取り付けオプションのおかげで、設置と位置決めが容易 • ロボットまたはEOATへの直接組み込みのために軽量 • G3/8"真空ポート • 組み込み型サイレンサー • 真空ポートは、複数の真空接続（パッド・センサー） • エアー供給は、単一の供給接続 • VACSW-3N203-G (PNP) およびVACSW-3M...

メーカー・取り扱い企業： リンケージ株式会社 東京オフィス

オイルフリー真空ポンプ インバータモデル KCEシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。ベーシックモデルをインバータ制御し、更なる省…

ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■界初のインバータ搭載パッケージ型真空ポンプ。 真空利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御。最大84％の省エネを可能にしました。真空ポンプの省エネ化・長寿命化・静音化に貢献します。 ■インバータ制御により最大84％の省...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

真空ポンプ　水エジェクタ(WJシリーズ)

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

水エジェクタは、水を駆動源とし、気体を吸引・排気するエジェクタです。駆動水の蒸気圧程度の吸入口圧力が得られ、凝縮性・腐食性ガス、ダストを含む気体の排気に有効です。また、多段蒸気エジェクタシステムの最終段としても利用できます。...【製品の特長】 ○駆動に水を使用しているので、凝縮性ガスや腐食性ガスの排気、ダストを含む気体の排気に有効です ○駆動水の飽和蒸気圧程度の吸入口圧力が得られます ○標...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

スクリュー真空ポンプ COBRA Industry ファミリー

液体や粉じんのキャリーオーバーにも耐性を持つパワフルなドライ真空ポンプ…

【製品説明】 中真空および粗引きに適した堅牢で高い信頼性の真空ソリューション。多様な仕様を展開し、更に要件に合わせた調整が可能です。 【特長】 ■ 堅牢：プロセスガス経路を最適化。液体や粉体のキャリーオーバーが...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

NM_FRロータリーステージ（精密位置決め装置）

1μradまでのさまざまな速度、力、位置決め要件に対応

供します。さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。 FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社工苑

真空ポンプ、真空設備のサービス

真空ポンプ単体のメンテナンスや修理から、真空設備全体の改善まで、真空関…

真空のトラブルは生産活動の効率に直結します。真空ポンプメーカーとして世界の幅広い業界、用途の経験を積んだブッシュにご相談ください。原因の特定、問題解決、そして予防策まで責任をもってご提案します。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

オイルフリー真空ポンプ KCPHシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。到達圧力100Pa以下に対応。

■高真空、到達圧100Pa[abs] 以下。 大気圧から到達までのフルレンジを実現した高真空ポンプ。 ■コンパクト設計。 低床設計されたポンプは各種装置への組込みが可能。 ■オイルフリー。 排気が...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

真空乾燥器・真空乾燥装置・真空ベーキング装置

ご要求仕様に合わせて製作するカスタマイズの真空乾燥・ベーキング装置。ニ…

佐藤真空の真空乾燥器・真空乾燥装置・真空ベーキング装置は、チャンバーサイズ・真空度・加熱温度・操作方式など、各々に特長をもった多種多様なシリーズをラインアップしています。 ご要求仕様に合わせて製作するカス...

メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社

カスタムメイド真空システム

真空設備のトラブルはありませんか？既存設備の改善も、新規設備の設計もご…

真空設備の安定運転は、 ★　製造設備そのものの安定運転 ★　最終製品の品質の安定 につながります。そして真空設備をトラブルなく運転するためには、 ★ 生産設備個々の条件に合った真空ポンプの選定と、 ★ その周辺のエンジニアリング が必要になります。真空ポンプの技術者、エンジニアリング会社で豊富な経験を積んだエンジニアを擁するブッシュは、お客様のお困りごとを解決し、要件に適した真空ソリューショ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

GIMATIC　WS.：真空カップ

真空カップ

ニップル付真空カップ（平型・平型長円・1.5段・2.5段）...

メーカー・取り扱い企業： リンケージ株式会社 東京オフィス

【ピスコ】ダストキャッチャ付真空パッドホルダ

安価で簡易的なダストキャッチャ付タイプをオプションでご用意！磨耗紛対策…

テックトレーディング株式会社で取り扱っている『ダストキャッチャ付 真空パッドホルダ』をご紹介いたします。 シャフトとブッシュの摺動で、磨耗紛が発生するスプリング式ホルダの VPSC・VPC・VPD・VPFに、安価で簡易的なダストキャッチャ付タイプを オプショ...

メーカー・取り扱い企業： テックトレーディング株式会社