株式会社大阪真空機器製作所 半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2018に出展

半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2018に出展 http://www.ipros.jp/public/product/image/8be/2000414393/IPROS14159368034917995198.PNG 【SEMICON Japan 2018 出展情報】 会 期 : 2018年12月12日 ~ 12月14日 会 場 : 東京ビッグサイト ブースNo.: 5726(前工程ゾーン ;Hall4, 5) 株式会社大阪真空機器製作所 製造・加工機械 > 加工機械 > その他加工機械 -
ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポンプを紹介!

IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。
その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。

今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。

コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ(反応性生成物対応仕様):TGkine4200MI
コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ:TGkine3300M
磁気軸受形 複合分子ポンプ(極低振動仕様):TG420ML
姿勢自在形 複合分子ポンプ:TG240F
コンパクトドライ真空ポンプ:DSP250
省エネ型ドライ真空ポンプ:ER100D

詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
また、大阪真空はSEMICON Japan 2018 にて、上記ポンプを展示いたしますので是非ご来場ください。

基本情報半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2018に出展

【SEMICON Japan 2018 出展情報】

会 期 : 2018年12月12日 ~ 12月14日
会 場 : 東京ビッグサイト
ブースNo.: 5726(前工程ゾーン ;Hall4, 5)

価格 -
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
発売日 取扱い中
用途/実績例 詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
よく使用される業種 産業用電気機器、電子部品・半導体、光学機器、試験・分析・測定、教育・研究機関、その他

カタログ半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2018に出展

磁気軸受形複合分子ポンプ『TG907M/TG1307M』

磁気軸受形複合分子ポンプ『TG907M/TG1307M』 表紙画像

大阪真空機器製作所が取扱う『TG907M/TG1307M』はコンパクトサイズで、
省エネルギー・低振動なターボ分子ポンプです。

大流量排気が可能で、回転数のコントロールにも優れているため、
放射線施設や核融合研究、イオン源排気などに好適です。

NRTLやSEMI-S2、CE等の安全規格にも適合している製品です。

【特長】
■取付姿勢自在
■コンパクトサイズ
■省エネルギー
■急速起動・停止
■メンテナンスコール

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

このカタログを電子ブック形式で閲覧できます。 電子ブックの閲覧方法はこちら

ターボ分子ポンプ総合案内

ターボ分子ポンプ総合案内 表紙画像

グリス潤滑形ターボ分子ポンプ
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
油潤滑形ターボ分子ポンプ

このカタログを電子ブック形式で閲覧できます。 電子ブックの閲覧方法はこちら

コンパクトドライ真空ポンプ『DSP50』

コンパクトドライ真空ポンプ『DSP50』 表紙画像

大阪真空機器製作所が取扱う『DSP50』は小型・軽量で容易に搬送可能な
コンパクトドライ真空ポンプ。大学や研究機関での使用に好適です!

空冷タイプのため冷却水は不要かつ、DC24V/AC100V入力を選択可能
なため、ユーティリティーの利便性が向上しました。

また、53dB以下の低騒音で、排気振動が発生しないスクリュー形ローター
を採用していることも特長です。

【特長】
■小型・軽量で容易に搬送可能
■ユーティリティーの利便性向上
■低騒音:53dB以下
■低振動

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

PDFダウンロード [PDF:685KB]
このカタログを電子ブック形式で閲覧できます。 電子ブックの閲覧方法はこちら

省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC

省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC 表紙画像

【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
省エネルギーで小型・軽量を実現。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティが特徴の「省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC」

PDFダウンロード [PDF:771KB]
このカタログを電子ブック形式で閲覧できます。 電子ブックの閲覧方法はこちら

磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkineシリーズ

磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkineシリーズ 表紙画像

磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGKineシリーズは、バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応します。コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計で、出力ケーブルや別置きコントローラが無くなり、ケーブルダクトやコントローララックが不要になります。面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単です。また、装置設計が自由になり、コストダウンに貢献いたします。 各種アクセス部(スイッチ、LED、ケーブル/配管接続部など)を前面に集約し、作業効率改善。横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献いたします。メンテナンス時のアクセスも容易です。 さらにIP54(防塵・防滴)標準対応で、厳しい環境下でも使用できます。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

このカタログを電子ブック形式で閲覧できます。 電子ブックの閲覧方法はこちら

取扱企業半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2018に出展

osakavacuum_logo_ipros_001.jpg

株式会社大阪真空機器製作所

真空機器、真空ポンプの開発・製造・販売・メンテナンスサービス

半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2018に出展へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されます。

株式会社大阪真空機器製作所