半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展大阪真空機器製作所

ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポンプを紹介！

IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。
今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。

【製品】
■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI
■磁気軸受形ターボ分子ポンプ、コントローラ：TGkine3400M-R、TC0331M［新製品］
■磁気軸受形複合分子ポンプ（極低振動仕様）：TG420ML
■コンパクトドライ真空ポンプ：DSP251［新製品］、DSP50
■省エネ型ドライ真空ポンプ：ER100D

詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
また、大阪真空はSEMICON Japan 2019 にて、上記ポンプを展示いたしますので是非ご来場ください。

基本情報半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

【SEMICON Japan 2019 出展情報】
会期 : 2019年12月11日～ 12月13日
会場 : 東京ビッグサイト
ブースNo.: 8219（前工程ゾーン；南2ホール）

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