コンパクトドライ真空ポンプ『DSP251 / DSP501』DSP-NEW-01

IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。
今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。

【製品】
■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI
■磁気軸受形 ターボ分子ポンプ、コントローラ：TGkine3400M-R、TC0331M［新製品］
■磁気軸受形 複合分子ポンプ（極低振動仕様）：TG420ML
■コンパクトドライ真空ポンプ：DSP251［新製品］、DSP50
■省エネ型ドライ真空ポンプ：ER100D

詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
また、大阪真空はSEMICON Japan 2019 にて、上記ポンプを展示いたしますので是非ご来場ください。
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コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。

【製品の特長】
○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ
○到達圧力0.5Pa
○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg）
○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー
○TMPの補助ポンプとして利用

●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。

【製品の特長】
■開放運転時排気速度　800L/min
■水蒸気処理量　500g/hr
■排気速度　1000L/min

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。 （詳細を見る）

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）

お客様の先端的な生産工程、分析、R＆Ｄなど、各分野の要求にあった真空システムを提供するため、新技術開発に加えて、既存技術を活用した設備の高度利用、安定利用、更に踏み込んで設備稼働の向上に努めています。今年の真空展では当社の新製品の磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine-Rシリーズと直結型油回転真空ポンプVSVシリーズ（1段式）をはじめ、真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップを紹介いたします。

コントローラ・電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Bシリーズ
磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Rシリーズ　［新製品］
磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TG-Mシリーズ
姿勢自在形ターボ分子ポンプ：TG-Fシリーズ
ドライ真空ポンプ：DSPシリーズ、ERシリーズ、FRシリーズ
直結型油回転真空ポンプ：VRDシリーズ、VSVシリーズ　［新製品］
ターボ分子ポンプ排気システム：STシリーズ
など

詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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今回自動車部品のリークテスト向けに納入させていただいた排気ユニットは、
グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型
油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。

ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの
アングルバルブで真空チャンバーと接続します。

ターボ分子ポンプと油回転真空ポンプは、車輪のついたカートに
取り付けられています。また主ポンプ、補助ポンプともに空冷ポンプですので、
排気ユニットはAC100V入力のみで運転可能です。

カートに取り付けられたタッチパネル式コントローラで、真空計や
スローリーク弁等の操作を含めたシステム全体の自動運転や各部位の
マニュアル操作を行うことが出来ます。

グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプTG350Fは外部からの振動に強く、
カートを移動させながら定格運転を維持することが出来ます。

シンプルかつ信頼性の高い排気ユニットで、自動車部品の製造を支えています。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング
装置を納入した事例を紹介させていただきます。

今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード
ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および
PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。

スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、
それぞれのカソードにRF又はDC電圧を印加、または重畳して印加することも
可能です。

【事例概要】
■納入先：地方独立行政法人大阪産業技術研究所様
■納入製品：MS-3C100L型

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）