空冷式ドライ真空ポンプ FR060D 大阪真空機器製作所

大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！

空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。

【製品の特長】
■開放運転時排気速度　800L/min
■水蒸気処理量　500g/hr
■排気速度　1000L/min

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基本情報空冷式ドライ真空ポンプ FR060D

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