SR-SCOPE DMP30 電気抵抗式膜厚測定器

PR裏面や内層材の影響を受けずに銅の膜厚を測定

【SR-SCOPE DMP30】は、プリント回路基板上の銅の厚さを迅速かつ高精度に非破壊で、基板裏面にある銅層の影響を受けずに測定することができる電気抵抗式の膜厚測定器。堅牢で近代的な新しいデザイン、デジタルプローブと新しいアプリケーションソフトウェアにより、プリント基板表面の銅の膜厚測定に好適。保護等級IP64のアルミ製の筐体、落下などから筐体を保護するソフトバンパー、強化ガラスの液晶ディスプレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フィッシャー・インストルメンツ

エルコメーター456 膜厚計＆ウルトラ・スキャンプローブ

PR膜厚の超高速読み取り機能とBluetooth(R)による測定データの転…

「エルコメーター456 膜厚計＆ウルトラ・スキャンプローブ」は、 広い面積、多くの測定箇所で膜厚管理を要求される工事仕様で 素早く膜厚を測定し、データ編集・作成することができる膜厚計です。 毎分140回の速度で膜厚を測定することが可能で、測定値は膜厚計本体に保存。 保存されたデータはBluetooth(R)を使って、モバイル端末、PCに リアルタイムで転送、測定数値を編集アプリで管理することが...

メーカー・取り扱い企業： Elcometer株式会社 エルコメーター

【分析事例】薄いカーボン膜の深さ方向分析

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)やグラフェンの深さ方向分析が可能

。その結果、表面に形成されるダイヤモンドライクカーボン(DLC)層は2層構造となっており、表面側では窒素が含まれるC層、奥側でCのみの層となっていることが分かりました。この方法を応用して、グラフェン膜の深さ方向分析も可能です。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：電子部品・製造装置・部品 分析目的：組成評価・同定・組成分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】フッ素系膜の分布状態評価および成分分析

微小領域の面分析による分布の均一性評価と有機物の同定・推定

違いで異なります。そこで、TOF-SIMSを用いて、フッ素系化合物の分布の観察を行いました。その結果、不均一に分布していることがわかりました。また、1μm角の領域で定性分析を行うこと で、フッ素系膜はKrytoxであることがわかりました。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：電子部品・日用品 分析目的：組成評価・同定・組成分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】CIGS膜のpn接合評価および結晶粒評価

SEMによる電子線誘起電流法・結晶方位解析

CIGS薄膜多結晶太陽電池は低コスト次世代太陽電池として期待されています。大面積化、高品質化のための開発が進められています。多結晶薄膜の特性を評価するため、EBICによるpn接合の評価・EBSD法による結晶粒評...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】酸化ガリウムGa2O3膜表面近傍の金属元素濃度評価

極浅い領域でも高感度に分析

ドギャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。ウエハの開発には、特性を左右する不純物濃度の制御が重要です。本資料ではGa2O3膜の表面近傍について、金属元素の定量分析を行った事例を示します。 TOF-SIMSでは極浅い領域でも高感度に評価が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ZnO膜の組成・不純物の三次元分布評価

イメージングSIMS分析により面内分布を可視化

デバイス作成の要素の一つである膜組成の均一性と不純物の分布状態をイメージングSIMS分析により評価しました。 測定後のデータ処理により、平面イメージ（図1）・断面イメージ（図2）・任意箇所の深さ方向分布プロファイル（図3, 4）...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】はんだボール表面の酸化膜評価

球体形状試料の評価事例

可能なため、基板等の平坦試料だけではなく、球体形状や湾曲形状の試料でも、曲率の影響を受けにくく、平坦試料と同様に特定箇所を狙って測定することができます。 以下は表面形状が異なる半田ボール表面の酸化膜厚を評価した事例です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】固体高分子燃料電池電解質膜の劣化調査

LC/MS・ICによる劣化溶出成分の評価

固体高分子形燃料電池(PEFC) は常温で高出力のため車載用、家庭用コージェネレーション、モバイル用として注目されています。 今回は固体高分子電解質膜をフェントン試薬（過酸化水素水＋鉄イオン共存溶液）により模擬的に劣化させて溶液中の劣化分解物の調査を行いました。LC/MSにより劣化分解物の組成情報を、ICにより溶出イオンの情報を得ることができます...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

顕微ラマンによる多層材料分析

ラマン分光法による深さ方向への測定！多層膜の表面から各層の材料分析が可…

当社の「顕微ラマン分光光度計」は共焦点光学系が採用されており、 顕微鏡のように深さ方向に焦点位置を変化させることで、多層膜の表面から 各層の材料分析が可能です。 顕微ラマン分光光度系の共焦点機能を用いて、ラマンレーザー光の焦点を 深さ方向に変化させることができます。 また、焦点位置を連続的に変化させれば...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

［XRR］X線反射率法

XRR：X-ray Reflectivity

、X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その反射強度を測定します。この測定で得られた反射X線強度プロファイルをシミュレーション結果と比較し、シミュレーションパラメータを最適化することによって、試料の膜厚・密度を決定する手法です。 ・膜厚の評価が可能 （2～300nm 程度） ・密度の評価が可能 ・表面粗さの評価が可能（Rms = 5nm 以下） ・非破壊で分析が可能 ・約1...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価

XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能

薄膜試料のバンドギャップはこれまでUV-Vis・PL・XPSなどの分析手法で測定されてきましたが、材料・膜厚・基板などの試料構造の制約から評価可能なケースが限られていました。 今回、XAFSとXPSの...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ナノテック表面分析センター　受託試験

薄膜表面の機械的特性評価は、薄膜プロセスのキーポイント！

【ラインナップ】 ○硬さ試験：硬さ・ヤング率の評価 ○スクラッチ試験：密着性の評価、傷つきやすさの評価 ○摩擦摩耗試験：摩擦係数の評価、耐摩耗性の評価 ○膜厚測定 ○表面粗さ測定 ○分光エリプソメトリ:膜厚、光学定数の評価 ○EDX分析:摩擦摩耗試験やスクラッチ試験後の試験痕の確認 ○RBS/HFS測定:薄膜を構成する元素の定性・定量評価 ○...

メーカー・取り扱い企業： ナノテック株式会社

スペクトル解析ソフトウエア『SCOUT』

光学モデルを用いたシミュレーションとのフィッティング解析から、膜厚や光…

『SCOUT』は、透過率、反射率、吸収、ATR、エリプソメトリー などの分光スペクトルデータと、光化学モデルをベースにした シミュレーションとのフィッティング解析から、膜厚や光学定数 などを決定するスペクトル解析ソフトウエアです。 豊富な誘電分散モデルなどにより、あらゆる波長領域の 分光スペクトルに対する多様な解析アプリケーションに対応します。 【主...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクノ・シナジー

EELS分析手法による膜質評価

元素同定を行うEELS分析により、物質の結合状態の比較が可能です！

当社では、分析解析・信頼性評価サービスなどを行っております。 EELS分析とEDS分析は、TEM試料に加速した電子を照射することで 元素同定を行う分析手法です。 「異なるカーボン膜」の事例では、状態分析が特長である EELS分析手法を用いてナノ領域での膜質評価を行いました。 EDS分析ではスペクトルの比較からBottom膜のみN,Oを微量に検出。 EELS分析で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【分析事例】XPSによるGaN膜の組成・結合状態評価

目的に合わせた測定条件で評価を行います

LEDやパワーデバイスに用いられるGaN膜について、XPSを用いて組成・結合状態を評価した例を紹介します。成膜条件や表面処理等により、組成や結合状態がどのように変わるのかを把握しておくことは、プロセス管理等に有効です。 評価の際は、目的に...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】IGZO膜の局所結晶構造解析

電子回折で結晶性・配向性を連続的に評価

IGZO膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいる材料です。 薄膜中の結晶構造の有無はTFT特性や信頼性に影響する可能性があり、デバイス中における局所的な結晶評価が必要になります。 TEMの電...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST