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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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R&Dや少量生産用にデザインされた有機材料用蒸着源です。 50℃から8…
有機材料用蒸着源 Creaphys DEシリーズ R&Dや少量生産用にデザインされた蒸着源エバポレーターです。 ・50℃から800℃まで広範囲の温度領域で安定した使用が可能 ・超高真空での使用も可能 ・既存の装置にも用意されたオプションで対応可能 (シャッター、水冷、各種フランジ、温度制御など) 詳細はお問合せください。 また複合型蒸着源についてもお問合せください。 ......
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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