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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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真空環境内の圧力測定センサ【真空環境内の圧力分布を同時測定!】
真空チャンバー内などセンサ複数設置により広範囲が測定可能!今まで困難だ…
sec ■最大32チャンネルまでシステム構築 ■耐振動・耐環境性 真空装置内の任意の箇所へ設置してピンポイントで圧力測定ができます。また、複数設置で圧力分布測定も可能です。 例1:真空蒸着装置の対象物前後に設置 例2:スパッタリング装置の対象物近傍へ設置 例3:真空成形装置の金型近傍へ設置 例4:真空チャンバー内へ複数設置 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDF...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社岡野製作所
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