組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

モジュール化

装置に必要な機能をモジュール化することで、サイズもコストもコンパクトに…

日電工業では、電磁弁をはじめ、逆止弁や流量調節弁など、 様々な製品の機能をモジュール化することが可能です。 機能のモジュール化によりコンパクトにできるほか、 効率化を見込んだ設計でコストカットも可能。 また、配管作業...

メーカー・取り扱い企業： 日電工業株式会社