厚膜フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプTRVシリーズ

PR酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(2…

ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。　　 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

高純度オゾンガス発生装置『ピュアオゾンジェネレータ』

高純度オゾンガスを連続で供給！

『ピュアオゾンジェネレータ』は、オゾンを液化・蓄積し、連続で高純度 オゾンガスを供給する装置です。 高純度のため、半導体プロセス用の酸素ラジカル発生源としても使用可能。 また、安全性・信頼性に関しても 「高純度・減圧にして危険な反応をさせない」という思想のもと、 安全な装置設計をしています。 【特長】 ■オゾナイザで発生させたオゾンを極低温液化し100％濃度オゾンを発生 ...

メーカー・取り扱い企業： 明電ナノプロセス・イノベーション株式会社