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長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト半導体製造装置振…
■□■特徴■□■ ■半導体製造ラインでの不良の原因となる振動について、 除振台に変位計、加速度計を設置して最大10Hzで長期間連続集録 ■集録したデータは画面上にそのまま/周波数解析して グラフ表示する他、1時間毎のCSVファイルとして出力 ■本システムで保存...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ペリテック 神奈川エンジニアリングセンター、東京営業所、ベトナム事業所
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