薄膜塗工やシビアなプロセスに！高精密油圧式定量ポンプTPL

PR光学フィルム・セパレータなど各種機能性フィルムの薄膜塗工に！

精密ポンプのタクミナが提供する様々なニーズに応える課題解決型ポンプ「スムーズフローポンプ」 「TPLシリーズ」は再現精度±0.1％以下、脈動率±1％以下の連続一定流を実現。ダイヤフラムポンプの特性である脈動を抑止し、ナノ単位の精度が求められる先進的な技術分野で実力を発揮、高い精度が求められるシビアなプロセスで選ばれ続けています。 【主な特長】 ■再現精度±0.1％以下、脈動率±1％以下 精密薄...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクミナ 本社

高周波大電流スリップリング

PR高周波で大電流通電可能なスリップリングのご紹介

従来のスリップリング、水銀式などで対応できなかった高周波大電流、13.56MHz,25Ａを通電可能な1極のスリップリングです。 転動式のスリップリングは弊社独自の構造の製品です。 接触抵抗が低く安定しており、また惰性で回転する程度に回転が軽いのも特徴です。 また、高周波電流の振る舞いが複雑で予測することが困難な面もあります。 弊社ではこれまでユーザーとの情報交換で多数の不具合を解決してきた実績...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒサワ技研

非接触表面抵抗測定器

非接触、オンラインでシート抵抗測定が可能！最大20mmのギャップで測定…

NAGY社の非接触表面抵抗測定器は、非接触、オンラインにてシート抵抗測定が可能です。渦電流磁界を用いた非接触式シート抵抗測定器で、非接触、オンラインにて非導電性基板上の導電膜を測定可能です。ITO等の透明電極や金属膜成膜プロセスのオンラインモニタリングに最適。既存成膜装置、搬送ラインへの組込が可能です。また、多様なアプリケーションに対応可能で、最大23mmの開口部により様々な基板（ガラス、プラスチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

イオンエネルギー測定器

エッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます…

検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。 プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。 - イオンエネルギー分布 - イオンフラックス - イオンカレント - エレクトロンフラックスとエネルギー ...・検出プローブは電極/基板ホルダーに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

非接触表面抵抗測定器

非接触、オンラインにてシート抵抗測定が可能

渦電流磁界を用いた非接触式シート抵抗測定器 ...【特長】 ・渦電流磁界を用いた非接触式シート抵抗測定器 ・非接触、オンラインにて非導電性基板上の 　導電膜を測定 ・太陽電池表裏面電極成膜プロセスの 　オンラインモニタリングに最適 ・P、N型シリコンの測定も可能です。 ・多様なアプリケーションに対応可能 ・最大23mmの開口部により様々な基板 （ガラス、プラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー