広帯域振動計測・判定システム

PR超音波領域の振動に対応し、多彩な判定機能を標準装備した振動計測システム

VIT-200Rは、200KHzまでの広帯域振動を解析判定可能な、計測ユニットです。 2chのピエゾ振動センサ入力のほか、アナログ信号入力2chを有し、 複合的判断をすることにも対応可能です。（ソフトカスタイマイズ） 設備の異常や予兆検出、構造物の状況測定、製造作業結果判定など、 多くの分野への応用が可能です。 標準機能の使用手順は次のようになります。 １．PCと接続し、複数パターンの振動デー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アローセブン

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

サビレックス　PFAコーティング分解用グラファイトホットプレート

熱源を多く均一に配し高純度PFAコーティングを施した高品質グラファイト…

■高品質グラファイト天板に高純度PFAでコーティング、あらゆる試料に耐性。 ■通常のグラファイトホットプレートより多くの熱源ヒーターカートリッジを配置し卓越した温度分布性を実現。 ■天板の端近くまで均一に加熱できるため有効加熱面積が広く一度に効率的な処理が可能。 ■通常より粒子の細かいグラファイトを加圧成形し、滑らかな天板表面を形成。 ■天板表面が滑らかなため加熱容器と密着しやすく、優れた...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社