同軸バレル型アッシング装置

同軸バレル型プラズマ装置

半導体ウエハや小型基板のフォトレジストのアッシング用途の他、等方性プラズマによる全方向からの処理を利用されたい場合に有効です。 量産用自動機は50枚一括処理のYSP650Wをご覧ください。...型式 YSP1000B 同軸バレル型 電極構造：円筒・石英チャンバー 高周波出力(Max)：1KW 発振周波数：13.56MHz水晶発振器 チャンバー寸法（内寸）：Φ300×500mm チャン...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社