小型プラズマクリーナー『KNPC-1』

12インチリング付きウェハ処理が可能！ 表面改質、無機物/有機物汚染…

★ 12インチリング付きウェハ処理が可能！ ★ 表面改質、無機物/有機物汚染除去！ ★ 量産前の評価、研究に最適！ ★ 高速、低価格 ★ 様々なオプション機能 ★ 300mmウェハ、矩形基板への対応可 [ 主要性能] ・到達圧力：6.0Pa以下(ガスバラスト閉時） 　　※最大排気速度500L/min ドライポンプを使用 ・リークレート：1.07 Pa/min以下 　　※ビルドア...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社

同軸バレル型アッシング装置

同軸バレル型プラズマ装置

半導体ウエハや小型基板のフォトレジストのアッシング用途の他、等方性プラズマによる全方向からの処理を利用されたい場合に有効です。 量産用自動機は50枚一括処理のYSP650Wをご覧ください。...型式 YSP1000B 同軸バレル型 電極構造：円筒・石英チャンバー 高周波出力(Max)：1KW 発振周波数：13.56MHz水晶発振器 チャンバー寸法（内寸）：Φ300×500mm チャン...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社