高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【スプレードライヤによる環境対策】ガステム

ダイオキシン対策に！排ガスのスプレードライヤによる瞬間冷却でダイオキシ…

ガステムとは、一般ゴミ焼却炉、産業廃棄物焼却炉などから発生する排ガスを瞬間冷却装置を中核とし、有害ガス除去装置、集塵装置と組合せ各種排ガスのダイオキシンやその他有害物を吸着回収し、排出規制値以下にするシステムです。特に瞬間冷却塔は、液体の微粒化と乾燥技術（スプレー＆ドライ）を取り入れて、噴霧液の完全蒸発、飛灰の付着防止、排ガス温度の均一化により安定した連続操業を可能にしました。 ●詳しくはお問い...

メーカー・取り扱い企業： 大川原化工機株式会社

【ダイオキシン対策用】ガステム

ダイオキシン対策に最適！排ガスを清浄化し排出規制値以下にするシステムで…

ガステムとは、一般ゴミ焼却炉、産業廃棄物焼却炉などから発生する排ガスを瞬間冷却装置を中核とし、有害ガス除去装置、集塵装置と組合せ各種排ガスのダイオキシンやその他有害物を吸着回収し、排出規制値以下にするシステムです。特に瞬間冷却塔は、液体の微粒化と乾燥技術（スプレー＆ドライ）を取り入れて、噴霧液の完全蒸発、飛灰の付着防止、排ガス温度の均一化により安定した連続操業を可能にしました。 ●詳しくはお問い...

メーカー・取り扱い企業： 大川原化工機株式会社

【環境業界向け】ガステム

ダイオキシン対策に！排ガスを清浄化し排出規制値以下にするシステムです

ガステムとは、一般ゴミ焼却炉、産業廃棄物焼却炉などから発生する排ガスを瞬間冷却装置を中核とし、有害ガス除去装置、集塵装置と組合せ各種排ガスのダイオキシンやその他有害物を吸着回収し、排出規制値以下にするシステムです。特に瞬間冷却塔は、液体の微粒化と乾燥技術（スプレー＆ドライ）を取り入れて、噴霧液の完全蒸発、飛灰の付着防止、排ガス温度の均一化により安定した連続操業を可能にしました。 ●詳しくはお問い...

メーカー・取り扱い企業： 大川原化工機株式会社