高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

多段ノズルエジェクタ『大流量真空発生器VLM』

多段ノズルと積層可能構造の採用により、吸込流量はエア消費量の平均約2.…

当社では、積層可能構造で-94kPaの高真空、最大1,110L/min[ANR]の 大吸込流量を確保する多段ノズルエジェクタ『大流量真空発生器VLM』を 取り扱っております。 取出方向は側面、前面、回転型の3種類をご用意。 （前面取出しは1段積層タイプのみ） 自動車、半導体、食品、薬品分野はもちろん、一般産業など 様々な産業分野に適しています。 【特長】 ■高真空・大流...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

低供給圧力 高真空度形 多段ノズルエジェクタ『真空発生器VVV』

0.35MPaの低供給圧力で、高真空・大流量を確保する多段ノズルエジェ…

『真空発生器VVV』は、ワーク吸着搬送をはじめ、真空包装や脱泡・脱気に 適した低供給圧力 高真空度形の多段ノズルエジェクタです。 デジタルプレッシャゲージで真空度の確認が容易。 また、排気ポート仕様にサイレンサ付を選択の場合、ストレートに エルボブロックが付属されておりますので、2タイプの排気取出しが可能です。 【特長】 ■簡易メンテナンスにて長寿命 ■真空取出方向を変更...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ