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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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精密な混合ができ、整粒、分散、転動を繰り返して、極めて高い歩留まりの微…
【特長】 ●ミキシング羽根で原料を掻き上げ、複数のチョッパーで分散解砕をおこなう構造で、チョッパーの効率が良く、偏析の少ない均一な混合が可能です。 ●2流体ノズル採用により、シャープな粒度の造粒物が得られます。 ●チョッパー、ミキシング羽根が横型でメンテナンスしやすい設計です。 ●微細粒領域(0.1~0.5mm)では、重質顆粒が高歩留りで得られます。 ●...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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複数の高速チョッパーにより性能アップ、より高精度な造粒を実現
複数の高速チョッパーにより性能がアップし、より高精度な造粒をおこないます。 サニタリー性を考慮したシンプルな構造のため、付着残量が少なく効率的な製造が可能になりました。 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ●省スペース、省エネ型で省力・自動化に対応します。 ●機械内の付着残量が極めて少ないです。 ●耐磨耗性を考慮しています。 ●開放タイプでサニ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…
自動酸・アルカリ洗浄装置。 対応ワークサイズ φ2~12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能。 【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能。 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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