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取り外し・自動運転が可能な強力排気と粉末分離システム！
SPD薄膜形成装置KM-300は、300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用しています。下方向への強力排気と粉末分離システムで、取り外して洗浄、または自動運転が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。...【主な特徴】 ○300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社SPD研究所
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