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様々なタイプの蒸着源をご用意しております
小面積用蒸着源、イオンアシスト小面積用蒸着源、大面積用蒸着源、3源蒸着源、原子状水素源、蒸着源用電源、大面積用蒸着電源、各種蒸着器用ルツボなどをラインナップ。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【ラインナップ】 ○小面積用蒸着源 EFM2 →蒸着面積:φ5~φ20mm →温度領域:160~3300℃ ○小面積用蒸着源 EFM3 →蒸着面積:φ5~φ20mm →...
メーカー・取り扱い企業: シエンタ オミクロン株式会社
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