【加工事例】白色干渉顕微鏡による加工面の測定

PRmm単位を超える広い面内測定範囲！多結晶セラミックスとSiC単結晶の測…

当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。 白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する 顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。 多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、 スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面 Sa 0....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社新興製作所

広帯域振動計測・判定システム

PR超音波領域の振動に対応し、多彩な判定機能を標準装備した振動計測システム

VIT-200Rは、200KHzまでの広帯域振動を解析判定可能な、計測ユニットです。 2chのピエゾ振動センサ入力のほか、アナログ信号入力2chを有し、 複合的判断をすることにも対応可能です。（ソフトカスタイマイズ） 設備の異常や予兆検出、構造物の状況測定、製造作業結果判定など、 多くの分野への応用が可能です。 標準機能の使用手順は次のようになります。 １．PCと接続し、複数パターンの振動デー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アローセブン

複合旋盤加工／A5052／アルミ加工部品は弊社にお任せください。

最短半日見積り／A5052材（アルミ）で複合旋盤加工機を用いた多工程切…

某大手電機メーカー様よりご依頼頂きました。 計測装置用の保守メンテナンス部品の製作を承りました。 アルミ A5052材で複合旋盤加工機を用いた多工程切削加工になります。 弊社では、この様な複合旋盤を用いた多工程加工品も単品加工から承れます。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 公式サイトには、更に詳しく情報を掲載しています。 アルミ・ステンレス部品を単品加工で対応します。...【対応材...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

RIBER社で開発されたEZ-CURVEは各種真空装置に取付可能であり、応力、反り、曲率、異方性等の測定が可能なIn-situモニターです。 特徴 1) In-situ応力、反り、曲率、異方性等の測定可能 2) 成長メカニズムに関する基礎データ取得にも利用可能。 3) 各種真空成膜装置（CVD, MBE, PVD等）や真空プロセス装置(エッチング、アニーリング等）に対応可能。 4) 従来...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

研磨装置　フラットパネルディスプレイ　ポイント研磨

突起の形状を認識し研磨中心位置を補正、確実に突起修正を行います。

カラーフィルター突起修正装置は、カラーフィルター上の突起欠陥の修正を行います。本機の持つ突起高さ計測システムにより、許容高さまで突起をポイント研磨修正を行います。検査装置を接続して自動化も可能です。その場合は、突起データに基づき、突起確認を行い、突起の形状を認識し、研磨中心位置を補正し、確実に突起修正を行います。リトライ機能を付加する事も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンシン

検査装置『ワイヤボンディング検査装置』

簡単操作！ワイヤ軌跡等の結果が視覚的に表示されます！

『ワイヤボンディング検査装置』は、検査位置の指定、設定したパラメータでの テスト計測に最適な検査装置です。 撮影した理想サンプルの画像を表示し、簡単なマウス操作にて検査位置の指定、 設定したパラメータでのテスト計測が行えます。 ワイヤ軌跡等の結果が視覚的に表示される為、確認が容易です。 また、品種情報はHDD内に記録され、多品種登録することが可能です。 【特長】 ■パラメ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

フォトマスク用CD-SEM『Zシリーズ』

ナノパターンの高速・高精度計測が可能なフォトマスク用CD-SEM

『Zシリーズ』は、フォトマスク市場で長年培った独自の高分解能技術、 チャージ対策技術をさらに進化させてsub-10 nm先端デバイス用 マスク向けに開発したフォトマスク用CD-SEMです。 EUVマスク、NIL用Qzモールド、PETフィルムモールド、DSAフィルムなど 様々なサンプルに対応しております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■収差補正技術...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ホロン

ポケットサイズオシロスコープ『POS-4』

軽量コンパクト！お持ちのスマートフォン・タブレットを手軽にオシロスコー…

『POS-4』は、手軽に計測が可能なポケットサイズのオシロスコープです。 スマートフォン、タブレット等に接続するだけで、場所や電源を 気にせずに波形を計測することができます。 最大4ch同時測定が可能です。 【特長】 ■軽量＆コンパクト ■4CH同時測定が可能 ■タブレット・スマホ接続 ■キーホルダーとして携帯可能 ■電源不要（タブレット、スマートフォンより供給） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オーテックエレクトロニクス

【半導体製造装置関連】集積回路測高検査装置2型

計測後NG品を自動排出！自動ローディングされたJEDECトレー内ICの…

『集積回路測高検査装置2型』は、視野角10mm内、高さ0.7mm以内の高さ計測が可能な製品です。 スロットマガジンに格納されているリードフレーム(最大30×50)を1枚ずつ計測ステージにローディングし、高さ計測を実施。 検査結果によるNG排出を行い、空ポケットに良品ワークを自動充填します。 当社は、FA装置の開発・設計から組立調整、設置、納品後のメンテナンスや改善・改造提案まで一貫したサービス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

Agnitron社 MOCVD装置 In-situ温度モニター

Agnitron社で開発されたAgniTemp-MOCVD In-si…

Agnitron社で開発されたAgniTemp-MOCVD In-situ温度モニターは高精度、高安定性を有する業界最高レベルの温度モニターです。 (1) 圧倒的な温度制御の精度と正確さ (2) メンテナンス後のキャリブレーション時間を短縮 (3) Run to Runの再現性が向上 (4) 様々なアプリケーションに役立つ単波長および二波長反射率オプション 標準波長：930nm, オプシ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

LEDチップテスタ　ECOIC-LED

各社オートプローバーと接続が可能！LEDチップテスタ ECOIC-LE…

■□■特徴■□■ ■各社オートプローバーと接続が可能 ■測定項目と機能 ・電圧測定 ・電流測定 ・輝度測定 ・色測定 ・波長解析 ・色度図 ・ESD試験（3KV） ・ウェハーマップ ■コンパクト ・本体サイズ（mm）:約W600×H770×D720 ・本体重量：約60kg ■グラフィカルテストプログラム ・計測制御関数はグラフィカルツールLabVIEW...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペリテック 神奈川エンジニアリングセンター、東京営業所、ベトナム事業所

ナノ分解能ピエゾ位置決めステージ

ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは世界中で、各種色々な分野で使用させて…

ナノ分解ピエゾ位置決めステージは、透空孔のある直線圧電プラットフォームであり、搭載物をナノメートル単位の精度で移動させることができます。ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは高い信頼性と高い解像度を持ち、非常に優れた運動直線性と平面性、およびより高い機械的強度を備えています。主に顕微鏡ステッピング移動などで使用され、光学システムの解像度を向上させるための高速なステップおよび安定した運動を実現します。こ...

メーカー・取り扱い企業： ワイヤード株式会社

CT398 温度コントローラー

温度センサー不要、フィードバック機能付DC温度コントローラー

　Mincoの CT398 温度コントローラーは、ヒーターライン(TCR*が高い材料を採用）を温度センサーとして兼用しており定期的に温度をモニタリングします。これにより別途温度センサーを搭載することなくヒーター面の温度を計測できます。設定温度と実測温度を比較し出力パワーが調整されるため温度が制御されます。USB接続とWindowsアプリケーションを使用することにより設定が簡単になりました。(LED...

メーカー・取り扱い企業： ミンコ・プロダクツ合同会社

自動チップ再研磨機『ATRM-008-00＊』

シャッター開閉の為、安全性、作業性がアップした自動チップ再研磨機！

『ATRM-008-00＊』は、サーボモーターを採用しており、 研磨形状の事前プログラミングが可能な自動チップ再研磨機です。 操作盤にタッチパネルが搭載されており、切削量、選別長さ、 切削スピード等の簡単操作を実現します。 【特長】 ■切削前の長さを計測し、フィードバックして研磨する為、 　常に一定の切削量にて研磨が可能 ■シャンクの交換はスピンドルを外すことなく、約5分で交...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キョクトー