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ムービングコイル駆動による精密制御!軽量案内弁による高速応答を実現
機械変換部に可動線輪型フォースモータを用いたスプール型サーボ弁です。 ムービングコイル駆動による精密制御を行い、主に半導体製造設備の分野で活躍しています。(精密位置決めステージ等) 「流量制御 3方弁/5方弁」、「圧力制御 3方弁」をご用意しています。 【特長】 ■大流量 ■高い分解能、低いヒステリシス ■静圧軸受による低誤差、長寿命 ■少ない内部リーク ■軽量案内弁による高速応答を実現 ■...
メーカー・取り扱い企業: ピー・エス・シー株式会社
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ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁 【空気圧で微細制御を実現します】
小型・軽量、精密、長寿命! ※清浄空気であれば基本メンテナンスフリーで…
【仕様(一部)】 ■AS100(3方弁) ・定格圧力:600kPa ・定格流量:6NL/min ・定格電流:30mA ■AS110-401(4方弁) ・定格圧力:600kPa ・定格流量:4NL/min ・定...
メーカー・取り扱い企業: ピー・エス・シー株式会社
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推力と変位を切り換えて制御する"複合シリンダ"などをご用意!新規開発・…
当社で取り扱う『特殊サーボ弁・特殊アクチュエータ』について ご紹介いたします。 精密なフォースモータによって大型のノズルを連続して開閉し、 出力流量を制御する「ゼロラップ3方弁(低圧・大流量)」や 直線運動と回転運動を組み合わせて制御できる「複合シリンダ」 などをラインアップ。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■圧力制御...
メーカー・取り扱い企業: ピー・エス・シー株式会社
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装置の小型化にも貢献!
電気-機械変換部にトルクモータを用いた『ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁』の超小型3方弁のご紹介です。 通常のノズルフラッパ型空気圧サーボ弁と駆動原理は同様次の通りです。 コイルに電流を印可すると、上下磁極との磁気的関係により電流の極性と 大きさに応じたトルクが発生し、アマ...
メーカー・取り扱い企業: ピー・エス・シー株式会社
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可変絞りや動揺防止シリンダなど!様々な製品をご用意しております
空気ばね⾞体傾斜⾞両の流量⽐例弁による⾼速化の実現など、 空気圧を制御することで乗り心地向上に貢献しています。 可動鉄片型フォースモータに直結されたスプール位置を制御する 「流量制御3方弁/圧力制御5方弁」や、空気ばね傾斜機能を備えた 高さ調整弁の「アクティブLV」などもラインアップ。 【ラインアップ(一部)】 ■流量制御弁 ■圧力制御弁 ■動揺防止シリンダ ■振子...
メーカー・取り扱い企業: ピー・エス・シー株式会社
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