中型タッチパネル/OLED露光装置

独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供！！！

<特徴> 2G～3.5Gまでの水平形露光装置をラインアップしています。 搬送は、高速シャトル搬送または、ロボット搬送にて、ハイスループットで生産に寄与します。 また、見えづらいITOマーク、メタルの被ったマークに対しても、独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供します。 マスクとワークの温度制御にて、トータルピッチ±3-5μｍ ...<仕様> 適用サイズ ：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所