FGゴニオステージ（精密位置決め装置）

最高1アーク秒の分解能を実現

ローラ移動・滑り防止機能付 エンコーダ：ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ ケーブル⾧：3m MTBF（平均故障時間）：30,000Hr ステージ質量：773g 可動質量 ：461g RoHS：適合 真空対応オプション：高真空（HV）1.4×10-5Pa（10-7 Torr）まで 　　　　　　　　　　超高真空（UHV）1.4×10-8Pa（10-10 Torr）まで ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社工苑