FGゴニオステージ（精密位置決め装置）工苑

最高1アーク秒の分解能を実現

FGゴニオステージ（FGS）は、ステージ上のピボットポイントの周りに角度のある傾斜運動を提供します。各FGステージは、HR4モーターと光学位置センサー付きの精密クロスローラーベアリングを利用しています。ステージは、他の線形,回転ステージと組み合わせて、独立して、またはペアで使用できます。

基本情報FGゴニオステージ（精密位置決め装置）

〇機械的特性（FGS013S125）
ステージプレート素材：アルミニウム-黒アルマイト
モータ：HR4モータ
ベアリングタイプ：精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付
エンコーダ：ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ
ケーブル⾧：3m
MTBF（平均故障時間）：30,000Hr
ステージ質量：773g
可動質量：461g
RoHS：適合
真空対応オプション：高真空（HV）1.4×10-5Pa（10-7 Torr）まで
　　　　　　　　　　超高真空（UHV）1.4×10-8Pa（10-10 Torr）まで

〇性能仕様
移動範囲（mm）：±10°
エンコーダー分解能：標準 0.171arc sec.（オプション 0.0171arc sec.）
双方向繰り返し精度：標準 2arc sec.（オプション 0.2arc sec.）
各モードの最小送り量：（エンコーダ制御に依存）
ACモード0.165arc sec.
UHRモード0.0082arc sec.
DCモード0.000165arc sec.

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用途／実績例	【用途】 ■半導体、バイオメディカル、および計測機器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。