工場用屋上換気扇 ルーフファン『省エネ形 RF-E』

PR省エネ・低騒音＆脱炭素対策に貢献する工場向け屋上換気扇！『省エネ形 R…

『省エネ形 RF-E』は、屋上換気扇のベストセラー『ルーフファン』標準形に比べ、 最大で消費電力を49％、騒音を9dB低減します。 優れた省エネ性能で工場の脱炭素・SDGsへの取り組みにも貢献。 「中小企業経営強化税制」対応機種。 【特長】 ■消費電力を従来比21～49％低減 ■騒音を従来比1～9dB低減 ■フードに新型ガイド、オリフィス部にベルマウス構造を採用 　風の流れをよりなめらかにしてい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社鎌倉製作所

マイクロ波発振器『MPSシリーズ』

PR独自設計で粉塵環境や結露に強い。

『MPSシリーズ』は、小型の熱交換器を内蔵し、粉塵環境や結露に強い完全水冷式のマイクロ波発振器です。 CE認証を取得済みで、電源部と発振部はセパレートタイプを採用。 外部コントロール機能も充実。 均一かつ急速での加熱に対応し、表面処理用途に適しており、 半導体・食品・化学業界などの現場で活用可能です。 【ラインアップ】 ◎プラズマ励起用 ■3kWマイクロ波発振器「MPS-...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッシン

水晶発振式成膜コントローラ CRTM-9100G

低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラ…

CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発振式成膜コントローラのメーカとして、長年培ってきた技術をすべて搭載しました。各種蒸着プロセスにて、長くお役立ていただけます。 【仕様】 ○外形寸法　W×D×H 480mm×350mm×149m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

異常放電防止ユニット　A2Kシリーズ

高スループット！マスタースレーブ接続により大容量化が可能です。【アルバ…

A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能。 A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能。複数台のA2Kの出力パルス同期が可能です。 既設装置にも簡単に取り付けでき、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。 【特徴...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

光学式プロセスモニタOptius

さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます…

光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。 反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。 【仕様】 ○質量　本体ユニット（TSC）： 4.9kg 　　　　拡張ユニット（ESC, 1ch）： 1.3kg ○電源　AC100～240V（50/6...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G

単層膜から多層膜まで、幅広い蒸着制御にご使用いただけます。【アルバック…

CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 【仕様】 ○外形寸法　W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量　約3.6kg ○ユーティリティー　AC85 ～ 230V 5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.