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歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置
『BMWシリーズ』は、デバイス製造プロセスにおいてウェーハ裏面に発生する 微小凹凸欠陥を高感度・高速に検出し、露光・CMP等の後続プロセスでの 歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置です。 また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補欠陥に対して、 レーザー顕微鏡による三次元自動測定を行い欠陥P-V値等の詳細データを ユーザーに提供、プロセスの安...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/
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モータやシリンダの制御、電子天秤の数値の読み取り、計算・表示等、全て1…
サンプルをセットすれば、ふるい分け→計量→ふるいの清掃まで、完全自動で測定が行えます。 【特長】 ■ステンレス製カップサンプラーが付いている為、10点連続自動測定が可能 ■ふるいの脱着は、クランプによるワンタッチ操作 ■ふるい上とPAN各段の重量は、電子天秤により計量、パソコン上で粒度分布を計算 ■エアーノッカー2台(SV-30)を使用し、ふるい網の目詰まりを除去 ■ふるいは装置内...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社はつらつ
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