汎用型　スロットルバルブ

汎用型　スロットルバルブ

弁体部が0-90°可変する事により 真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブ 【特徴】 ○ACXコントローラと併用する事により、半導体等のプロセスにおいて 　高速応答・高再現性の真空圧力制御が得られる ○フランジの種類・大きさは各種ご用意 ○別途製作のご相談にも対応 ○最大差圧：1...

メーカー・取り扱い企業： メガトール株式会社

ターボ分子ポンプ nEXTシリーズ

最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高/超高真空を実…

XT85 →nEXT240, nEXT300, nEXT400 →nEXT730, nEXT930, nEXT1230 ○TICターボ＆インスツルメントコントローラ ○アクセサリ →ACX エアクーラ →BX ベークバンド →PRX10 パージリストリクタ →TAV ベントバルブ →ベントポートアダプタ →振動アイソレータ →VRX ベントリストリクタ →スペア部品 ...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社