コンビナトリアル成膜の受託

マテリアルズインフォマティクスのためのハイスループット薄膜の作製と評価

【CMS-6420, 3200の特長】 ■2元& 3元コンビ成膜に対応 ■PCからのレシピ入力&自動成膜に対応 ■タッチパネルで簡単操作（自動排気、成膜プロセス） ■基板加熱可能（標準仕様：最高6...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コメット