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解像力とアライメント精度を高め、量産プロセスに対応。UV-LED光源を…
『CMS(Cerma Micro Stepper)-Ck』は、650×550mmの フルサイズ基板に対応した、微細パターン露光が可能な投影露光装置です。 標準光源として、UV-LED光源を採用。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サーマプレシジョン
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