カーボンナノチューブ合成装置触媒蒸着

PLUMEシリーズのプラズマソースを搭載可能！PVDやPECVDプロセ…

当社では、カーボンナノチューブ合成装置触媒蒸着を取り扱っております。 ハイブリッドリアクター構成によりPVDやPECVDプロセスに対応。 大気開放せずCNTやグラフェン合成の全てのステップ処理を実現し、 基板表面クリーニング、バッファー層成膜、触媒層を含めた 合成ステップに対応しております。 【特長】 ■MAGNIONシリーズのマグネトロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ