カーボンナノチューブ合成装置

優れた膜厚分布および再現性を実現！基板プラズマクリーニングシステム搭載

『カーボンナノチューブ合成装置』は、優れた基板温度分布および ガスフロー方式を実現します。 全自動でCNT合成が可能。 基板プラズマクリーニングシステム搭載しています。 マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作できますので、 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社