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【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント(成膜ソース、ステージなど)、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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卓上ドラフト内にUV/O3 装置やプラズマ装置を設置することで、オゾン…
設置場所は振動無きこと 使用上の注意 ・本製品はオゾンガスの分解用です。下記のガスの混合は燃焼・爆発もしくは触媒毒の危険性がありますので絶対に避けてください。 ・ 可燃性ガス、シラン系ガス、CVD 排ガス等 ・ 金属化合物等が含まれるガス(Si,P,As,Hg,Pb 等の化...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エキシマ 横浜ラボ
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