【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

QSESの安全評価について　「Ｆ47/Ｆ42評価サービス」

どこよりも早く『電圧降下（F47/F42）試験』に対応し、対策からレポ…

内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が突然の電圧降下（半サイクルから数秒）を起こした状態をシュミレートし、その場合の被試験装置の耐性を評価する試験を行います。 エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、自動検査装置等のプロセス装置全てが対象で、電源容量の大きい装置にも対応しています。 さらに、対策からレポート作成までフルサポートいた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キューセス

SEMI F47/F42：電圧サグイミュニティ

是正対策や対策部品紹介までコンサルティング、試験が適合するまでフルサポ…

いて設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が 突然の電圧降下（半サイクルから数秒）を起こした状態をシミュレートし、 その場合の被試験装置の耐性を評価する試験です。 エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、 自動検査装置等のプロセス装置全てに適用されます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キューセス