【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【高周波洗浄ユニット：用途例】半導体製造工程

出力が低い所でも安定した性能を維持！繊細な部品洗浄にも適しています。

当社では、半導体製造工程において「高周波洗浄ユニット」を ご提案いたします。 スパッター装置や、CVD装置などをお使いのお客様で、冶具の再生を メーカー等に依頼されていらっしゃる方も多いと思います。 特定のお客様では、超音波で部品にダメージを与えてしまうケースがあります。 当社の超音...

メーカー・取り扱い企業： ULT-JAPAN(ユーエルティージャパン)株式会社