【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

機能材料『CVD-SiC』

優れた高純度・耐食性！半導体製造装置部品として高い性能を発揮します

『CVD-SiC』は、CVD法（気相成長法）で製造したバルクSiCです。 高純度、耐食性に優れ、半導体製造装置部品として高い性能を発揮。 長寿命で、SiCコート品におけるピンホール、剥離の問題が発...

メーカー・取り扱い企業： 巴工業株式会社 機能材料部

機能材料『PG（熱分解グラファイト）』

セラミックスでは実現が困難な形状が作製可能！加工性に優れた機能材料

『PG』は、CVD法（気相成長法）で製造したグラファイトです。 半導体製造装置部品として優れた性能を発揮し、セラミックスでは 実現が困難な形状が作製できます。 また、銅と同等の熱伝導率を持ち、放熱に優...

メーカー・取り扱い企業： 巴工業株式会社 機能材料部

機能材料『PBN（熱分解窒化ホウ素）』

少量・試作品から対応可能！蒸着用ルツボに適した機能材料

『PBN』は、CVD法（気相成長法）で製造した窒化ホウ素です。 高純度で高耐熱性に優れ、不純物の混入を嫌う工程で、 優れた性能を発揮します。 当製品は、反応性が低く、蒸着用ルツボに適しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 巴工業株式会社 機能材料部