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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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構成要素を全てグループ企業内で、開発・製造!高性能・高信頼性のシールを…
サイズの磁性微粒子を液体中に分散させたコロイド液体 ■耐熱性能が高いため、周辺に冷却機構を設ける必要がない ■差動排気無し直接排気のみで極高真空に対応 ■低アウトガス性能に優れている ■CVD装置等で局部的な冷却による副生成物の発生を抑えることが期待される ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ダイジク株式会社 大阪本社
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