フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

精密洗浄サービス

ICおよび半導体製造装置メーカーに対して信頼性の高いサポートを提供しま…

当社は、上海に長年の経験を持つ先端技術と信頼性の高い オペレーションチームを有しており、8インチ、12インチのファブ、 PVD/CVD/ETCH/IMPLA NT等のプロセスに対して、安定した洗浄技術を 提供することが可能です。 10の主要な精密洗浄および表面処理ライン （溶射、プラズマ溶射、14nm精密洗浄、陽極酸化、電気メッキなど）と サービスチームと連携し、品質管理と技術開発...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンファインマテリアル株式会社