半導体業界向け特殊セラミック部品＜カタログ無料進呈中＞

PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…

当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

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日本電子工業は1973年に独自のプラズマ熱処理装置「イオン窒化」を国内で最初に開発･実用化いたしました。 またセラミックコーティング､プラズマ熱処理そして高周波誘導加熱を基にし、熱処理のプロフェッショナル集団として産業界のニーズにお応えしています。 プラズマ熱処理装置「イオン窒化装置」をはじめ、独自技術を応用した熱処理設備の販売では､アジアをはじめ海外においても高い評価を得ています。 ＝...

メーカー・取り扱い企業： 日本電子工業株式会社 本社