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アーク検知器
1usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。 パルス…
・1usの高分解能で電流、電圧の振れ幅をモニタリングし、異常検知いたします。
・RF電源、マッチングボックス間に容易にインストールすることが可能。
・Ethernet Net(CAT)等で通信が可能です。
...・エッチング装置、CVD、スパッタ等の量産現場でのアーク検知、パルスモニターとして最適です。
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メーカー・取り扱い企業:
株式会社マツボー
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